北京利方達真空技術有限責任公司
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北京利方達真空技術有限責任公司
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經營模式：工廠
所在地：北京
主營產品：超高排氣臺;真空爐;鍍膜機;空間濾波器;橢偏儀;真空泵;等離子束濺射鍍膜;電子槍;射頻電源;全光譜光學膜厚監(jiān)測儀;磁控濺射陰極靶及濺射靶材;真空計;檢漏儀;四極質譜;真空閥門;
| 品牌 | maxtek | 型號 | mdc360c |
MDC-360C型膜厚控制儀
主要特性
? 可同時六個探頭進行監(jiān)測，探頭/晶片的自動轉換
? 編程菜單更具有易用性
? 16路輸入和輸出使得系統更易實現自動化
? 可以儲存多達99種工藝過程，999種定義膜層和32種完整定義的材料
? 可支持6路源輸出
? 多重速率爬升
? 中止過程的自動恢復功能
? 內置材料數據庫
? 可命名的工藝過程、材料和輸出，易于識別
技術指標
? 頻率分辨率 在6.0 MHz時0.03 Hz
? 質量分辨率 0.375 ng/cm2
? 感應晶片頻率 2.5, 3, 5, 6, 9.5, 10 MHz
? 膜厚顯示 0.000～999.9 K?
? 成膜速率 00.0～999 Ang/sec (0~9.99μm/min)
? 膜層數量 1～999
? 圖形顯示 256×64 LCD，CCFL背景照明
