| 品牌 | maxtek | 型號 | mdc360c |
MDC-360C型膜厚控制儀
主要特性
? 可同時六個探頭進行監(jiān)測,探頭/晶片的自動轉換
? 編程菜單更具有易用性
? 16路輸入和輸出使得系統更易實現自動化
? 可以儲存多達99種工藝過程,999種定義膜層和32種完整定義的材料
? 可支持6路源輸出
? 多重速率爬升
? 中止過程的自動恢復功能
? 內置材料數據庫
? 可命名的工藝過程、材料和輸出,易于識別
技術指標
? 頻率分辨率 在6.0 MHz時0.03 Hz
? 質量分辨率 0.375 ng/cm2
? 感應晶片頻率 2.5, 3, 5, 6, 9.5, 10 MHz
? 膜厚顯示 0.000~999.9 K?
? 成膜速率 00.0~999 Ang/sec (0~9.99μm/min)
? 膜層數量 1~999
? 圖形顯示 256×64 LCD,CCFL背景照明








