主要用于對影像測量儀(二次元)、投影儀、工具顯微鏡等測量儀器的比例尺校準
尺寸:63*63mm
厚度:2.0mm
光刻板基材:Quartz;Soda Lime
小線寬:1.0um
接觸孔:1.5*1.5um
Cd公差:正負0.1um
均一性(范圍):0.12um
套刻:0.12um
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