一.SJ6000激光干涉儀概述

 激光干涉儀是以光波為載體，以光波波長為單位的一種計量測試方法，是公認的高、高靈敏度的檢測手段，在高端制造領域應用廣泛。

SJ6000激光干涉儀產品采用美國進口高穩頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩頻技術、高環境補償模塊、幾何參量干涉光路設計、高激光干涉信號處理系統、高性能計算機控制系統技術，實現各種參數的高測量。通過激光熱穩頻控制技術，實現快速(5~10分鐘)、高(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學鏡組與激光配合，得到不同的干涉信號，然后通過高激光干涉信號處理系統得到干涉數據，將數據通過計算機進行顯示和動態分析。

二.SJ6000激光干涉儀功能

1.幾何檢測 可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等；
2.位置的檢測及其自動補償 可檢測數控機床定位、重復定位、微量位移等；

3.動態性能檢測 利用動態特性測量與評估軟件，可用激光干涉儀進行機床振動測試與分析，滾珠絲杠的動態特性分析，伺服驅動系統的響應特性分析，導軌的動態特性(低速爬行)分析。

三.SJ6000激光干涉儀技術參數