上海洪柯自動化儀表有限公司推出的D系列氣體質量流量計(M flow meter, 簡稱MFM) f氣體質量流量控制器(M Flow Controller,簡稱MFC)用于測量/控制微小流量氣體流量。微流量氣體流量計/控制器小量程為0-2SCCM (標準毫升每分鐘),大量程為0-2000SLM(標準升每分鐘),具有高、重復性好、量程寬、穩定等特點,在半導體集成電路、特種材料、石化、醫藥、真空等領域,廣泛用于鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、氣體采樣、毛細管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器,也可以用在各類實驗室作為流量檢驗的標準流量計。我公司應廣大用戶要求,推出了爆系列流量計/流量控制器,主要有爆型氣體質量流量計,爆型氣體質量流量控制器,一體化顯示爆型氣體質量流量計,一體化顯示爆型氣體質量流量控制器,主要用于氫氣,天然氣,甲烷、乙烷等具有爆要求的氣體,供電電源24VDC 500mA, 控制信號4- 20mA或RS485,可帶一體化液晶顯示器,卡套連接,VCR連接,法蘭連接等。 D500系列氣體質量流量計f氣體質量流量控制器由氣體質量流量傳感器{ 氣體質量流量控制器還包括電磁調節閥)、信號線電源線、氣體質量流量顯示儀{氣體質量流量顯示控制儀)等構成。
項目型號 主要技術指標
流量范圍:0~2, 0~5, 0~10, 0~20, 0~30, 0~50, 0~100, 0~ 200, 0~300, 0~500 SC 0~1,2,3,5,10,20,30,50, 100, 150, 200, 300, 500,1000, 1500, 2000,2500, 3000 SLPM
準確度%FS:士1.0%FS,士1. 5%FS, 士2.0%FS
性能:量程比50:1,
重復性士0.2%FS,響應時間1~4s
工作壓差:0. 05~0.3MPa, 0.3-1.OMPa,或按用戶要求定制耐壓MPA:3MPa,10MPa,15MPa,大25MPa
介質溫度:0~60°C
輸出信號:0~5VDC, 4-20mA,RS232,RS485
電源:±15VDC/50mA、 24VDC/300mA 220VAC電源適配器
外形尺寸:158 x 30x128,185x45x145不等
氣路連接:雙卡套3, 6, 8, 10, 12mm, ; swagelok雙卡套1/8", 1/4",3/8”, 1/2”,3/4"; VCR接頭1/8”,1/4",3/8”, 1/2”法蘭DN25重量:1.2、2.5、4、6、10不等
以標準狀態下(0°C 101325Pa) 氮氣進行標定,其他氣體乘以轉換系數或者按用戶指定氣體進行標定
D600系列數字式-體型氣體質量流量計/氣體質量流量控制器參數表D600系列一體型氣體質量流量計/氣體質量流量控制器是我公司新推出的數字化流量計產品。它采用單電源供電(6~16VDC或24VDC),一體化液晶顯示瞬時流量、累積流量,對于氣體質量流量控制器,更是集成了電磁調節閥,可以直接在液晶面板.上設定控制瞬時流量,也可以直接連電腦顯示控制;數字,模擬輸入輸出;具有多氣體多量程,高等特點。
流量范圍:0~5,10,20,30,50,100,200, 300,500 SCCM/ SC
0~1,2,3,5,10,20,30,50,100, 150, 200, 300,500, 1000, 1500, 2000, 2500, 3000 SLM/SLPM
準確度:土1%FS性能:
線性士0.5~2%FS
重復性士0.2%FS響應時間1~4s
工作壓差(對MFC):0. 05~0.3MPa,0. 3-1.OMPa,或按用戶要求定制
大耐壓:3MPa, 10MPa, 15MPa, 大25MPa
工作溫度:0~60°C
輸出信號:0~5VDC, 4-20mA, RS485, RS232
電源:12VDC/1A, 24VDC 500mA, 220VAC電源適配器
氣路連接:雙卡套3, 6, 8, 10, 12mm, ; swagelok雙卡套1/8", 1/4",3/8”, 1/2”,3/4"; VCR接頭1/8”,1/4”,3/8”, 1/2”法蘭DN25
備注:此價格增值稅,如需開票,加10%,下單前請與客服聯系,并提供開票資料,謝謝。









