吉時(shí)利5位半6517B靜電計(jì)/高阻表提供的精 度和靈敏度指標(biāo)高于其他同類型儀表。它還具有 完備的功能，使測(cè)量高阻和絕緣材料電阻率變得 簡(jiǎn)單。6517B具有425讀數(shù)/秒的測(cè)試速率，比同 類型的靜電計(jì)快很多，可以提供快速、簡(jiǎn)易的弱 電流測(cè)量能力測(cè)量弱電流。

主要特點(diǎn):

• 電阻測(cè)量可達(dá)1018 Ω

• 電流測(cè)量范圍10aA - 20mA

• zui小電流量程輸入端壓降<20μV

• 200TΩ 輸入阻抗

• <3fA 偏置電流

• 測(cè)試速率高達(dá)425 rdgs/s

• 噪聲0.75fA p-p

• 內(nèi)置±1kV電壓源

• 獨(dú)特的高電阻測(cè)量電壓反接方法

• 可選的插件式掃描卡

出眾的性能指標(biāo)

半機(jī)架型6517B靜電計(jì)/高阻表具有特殊的低 電流輸入放大器，其輸入偏置電流<3fA，噪聲僅 0.75fA p-p (峰-峰) ，輸入端壓降<20μV。對(duì)于 接近理想的電路負(fù)載，其電壓和電阻測(cè)量的輸入 阻抗是200TΩ。這些性能指標(biāo)確保物理、光學(xué)、納米技術(shù)和材料科學(xué)等研究領(lǐng)域低電流和高阻抗電壓、電阻和電荷測(cè)量所需的準(zhǔn)確 度和靈敏度。內(nèi)置±1kV的電壓源具有掃描能力，從而簡(jiǎn)化漏流測(cè)試、擊穿電壓測(cè)試 和電阻測(cè)試，以及絕緣材料的體電阻率(Ω-cm) 及表面電阻率(Ω/square) 的測(cè)量。

測(cè)量范圍寬

6517B型靜電計(jì)/高阻表具有全自動(dòng)量程，超過(guò)電流、電阻、電壓和電荷測(cè)量滿量程：
? 電流測(cè)量范圍：10aA - 20mA
? 電壓測(cè)量范圍：1μV - 200V
? 電阻測(cè)量范圍：1Ω - 1018Ω
? 電荷測(cè)量范圍：1fC - 2μC

改進(jìn)的高靈敏度測(cè)量

許多測(cè)試應(yīng)用要求測(cè)量高級(jí)別材料的電阻率（面電阻率和體電阻率）。傳統(tǒng)測(cè) 量方法是對(duì)樣本施加足夠高的電壓，測(cè)量流經(jīng)樣本的電流，然后利用歐姆定律(R=V /I)計(jì)算其電阻。雖然高阻材料和器件產(chǎn)生很小的電流，很難準(zhǔn)確進(jìn)行測(cè)量，但利用 吉時(shí)利靜電計(jì)和皮安計(jì)則可以成功地進(jìn)行這種測(cè)量。

即使利用高精度儀器，材料中固有的背景電流使得進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量較為 困難。由于壓電效應(yīng)、電容效應(yīng)和偏振效應(yīng)，絕緣材料、聚合物和塑料通 常都顯示出背景電流。這些背景電流一般等于或大于施加電壓產(chǎn)生的電流。 在這些情況下，其測(cè)量結(jié)果往往是不穩(wěn)定的，生成不準(zhǔn)確的電阻或電阻率 讀數(shù)甚至錯(cuò)誤的負(fù)值。吉時(shí)利6517B型靜電計(jì)/高阻表旨在解決這些問(wèn)題， 并為各種材料和元件提供一致、可重復(fù)和精準(zhǔn)的測(cè)量，特別是與8009型電 阻測(cè)試夾具一起使用時(shí)。

變換極性法

6517B型靜電計(jì)/高阻表使用變換電極法，實(shí)際上消除了樣本的背景電 流。并剔除背景電流的第1級(jí)和第二級(jí)漂移。變換電極法施加一個(gè)正極性 電壓，然后在指定延遲（測(cè)量時(shí)間）后測(cè)量電流。接著，改變電壓極性， 使用相同的延遲，重新測(cè)量電流。連續(xù)重復(fù)這個(gè)過(guò)程，并根據(jù)4個(gè)zui新電 流測(cè)量結(jié)果的加權(quán)平均值計(jì)算出電阻。對(duì)大多數(shù)材料來(lái)說(shuō)，通過(guò)7次反轉(zhuǎn)(即 舍棄前三個(gè)讀數(shù))，這個(gè)方法通常生成可高度重復(fù)、準(zhǔn)確的電阻（或電阻 率）測(cè)量結(jié)果。例如，利用8009型測(cè)試夾具0.3%的重復(fù)度，可對(duì)1mm厚 的1014Ω-cm材料樣本進(jìn)行測(cè)量，在15秒測(cè)試周期內(nèi)其背景電流低于200fA。