| 類型 | 薄膜測厚儀 | 品牌 | OTSUKA |
| 型號 | FE-3000 | 測量范圍 | 1nm-250μm（mm） |
| 外形尺寸 | 481（H）×770（D）×714（W）（主體部分）（mm） |
紫外到近紅外光領域的反射光譜，適用於多層膜量測、光學常數分析的光干涉式膜厚儀。
以光為量測媒介，非接觸式、不破壞樣品的高再現性。190nm~1600nm的大範圍波長解析。1nm~250μm薄膜到厚膜的全般對應。可對應顯微鏡下的微小量測範圍。
分光膜厚儀系列橢圓偏光儀 FE-5000 膜厚光譜分析儀系統 MCPD series
桌上型橢圓偏光儀 FE-5000S 膜厚量測儀 FE-300
■平面顯示器
?液晶顯示器、薄膜電晶體、OLED
■半導體、化合物半導體
?矽半導體、半導體雷射、強誘電、介電常數材料
■資料儲存
?DVD、錄影機讀取頭薄膜、磁性材料
■光學材料
?濾光板、反射膜
■平面顯示器
?液晶顯示器、薄膜電晶體、OLED
■薄膜
?反射膜
■其它
?建築用材料
■玻璃上的二氧化鈦膜厚、膜質分析
