氣體質(zhì)量流量計CMS(樹脂、SUS、SUS316)系列是檢測部分采用本公司獨自開發(fā)的感熱式流速傳感器“MicroFlow?傳感器”的質(zhì)量流量計。利用微型機械技術(shù)制造的超小型流速傳感器和高度的集成電路設(shè)計技術(shù)的結(jié)合，以低成本實現(xiàn)了以前達不到的高和寬量程。并且，易于使用，可靠性高。氣體質(zhì)量流量計CMS(用于氫氣和氦氣)系列是檢測部分采用本公司獨自開發(fā)的超小型感熱式流速傳感器“MicroFlow?傳感器”的質(zhì)量流量計。利用微型機械技術(shù)制造的超小型流速傳感器和高度的集成電路設(shè)計技術(shù)的結(jié)合，以低成本實現(xiàn)了以前達不到的高和寬量程。并且，易于使用，可靠性高。

盤裝質(zhì)量流量控制器MPC系列是本公司獨自開發(fā)的超高速響應流速傳感器。集MicroFlow傳感器、超小型比例電磁閥、新方式的流路和高度的執(zhí)行器技術(shù)于一體，可安裝在儀表盤上的質(zhì)量流量控制器。數(shù)字質(zhì)量流量控制器。

CMQ-V系列是面向一般產(chǎn)業(yè)市場，具有高速、寬量程流量控制特點的新一代高性能低成本的氣體流量控制器。集本公司獨自開發(fā)的超高速響應流速傳感器-MicroFlow傳感器、比例電磁閥和高度的執(zhí)行器技術(shù)于一體的高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器。數(shù)字質(zhì)量流量控制器CMQ-V系列中流量型是面向一般產(chǎn)業(yè)市場，具有高速、寬量程流量控制特點的新一代高性能低成本的氣體流量控制器。集本公司獨自開發(fā)的超高速響應流速傳感器-MicroFlow傳感器、比例電磁閥和高度的執(zhí)行器技術(shù)于一體的高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器。數(shù)字質(zhì)量流量控制器CMQ-V系列(用于氫氣和氦氣)是面向一般產(chǎn)業(yè)市場，具有高速、寬量程流量控制特點的新一代高性能低成本的氣體流量控制器。集本公司獨自開發(fā)的超高速響應流速傳感器-MicroFlow傳感器、比例電磁閥和高度的執(zhí)行器技術(shù)于一體的高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器。