檢測器工作原理
作為載氣的高純氬氣以一定流速流經處在高頻振蕩電磁場中的石英管時，在管外施加1500V高電壓，
使石英管內氬氣原子在100兆赫的高頻電磁場振蕩下運動，由于氬原子的電離能低于受振蕩后的平均自
由程能量，因而氬原子在管內被電離形成離子、電子及中性粒子的混合氣體---等離子體，并且氬原子受
激發放電產生弧光。當被測氣體經分離柱后進入檢測器中時，由于性氣體雜質的分子N2，H2，CH4
等吸收并粹滅弧光，而O2和CO分子受激發后產生增強弧光。所產生光的強度變化與被測成分濃度成正比，
故可以借此進行雜質定量分析。此種檢測器被稱為高頻氬放電檢測器，如圖1所示。
技術數據
型號 | AGC100HFADD |
廠家 | 愛爾蘭AGC儀器有限公司 |
HFADD檢測器 | 靈敏度：H2<15ppb |
線性范圍：＞103 | |
柱箱溫度范圍 | 室溫～250℃ |
程序升溫 | ＜±1％ |
載氣 | 超純氬 ＞99.999% |
放電氣體 | 超純氬 ＞99.999% |
驅動氣 | 清潔干燥空氣 |
電源要求 | 220V，50/60Hz |
色譜工作溫度 | 10~40℃ |
樣品氣進口連接方式 | 1/8″VCR |
安裝方式 | 臺式572mm W x 508mm H x 559mm D |
氬中各組分的檢測限：
| 組分名 | H2 | O2 | N2 | CH4 | CO | CO2 |
| 檢測限（ppb） | <15 | <75 | <100 | <30 | <100 | <100 |
色譜流程圖
分析譜圖
