◆ 外形尺寸(不包括報警燈)
850(W)×1000(D)×1850(H)mm?
◆ 倉體結構(約200升)
550(W)×700(D)×530(H)mm
?◆ 電極面積??550(W)×700(D)×530(H)mm，14層
?◆ 等離子發生器(MF)頻率40KHZ,功率0-3KW連續調節,自動阻抗匹配
?◆ 控制系統有邏輯電路半自動控制,采用歐姆龍、西門子等世界品牌電器元件，性能穩定可靠,并具有手動、自動兩種模式
?◆ 真空系統日本愛發科(ULVAC)機械真空泵 VDN901 (23L/S)
進口氣動角閥、充氣閥、DN40不銹鋼真空波紋管，
?德國英?？礗nficon高真空計、規管
?◆ 處理氣體兩路工藝氣體配置(氬氣、氧氣）美國高浮子流量計、針閥，
美國世偉洛克Swagelok不銹鋼拋光氣體管
