| 型號 | Elite 200C | Elite 300C | Elite 400C |
| 范圍 | 200x150x150mm | 300x200x150mm | 400x300x150mm |
| 測量準確度 | 2.0+L/250（um） | ||
| Z軸測量準確度 | 2.5+L/250（um） | ||
| 玻璃尺寸 | 376x286mm | 536x486mm | |
| 工件重量 | 15Kg | 18Kg | 20Kg |
| 分辨率 | 0.5um（0.1um可選） | ||
| 電機 | DC Servo Motor Control | ||
| 速度 | XY:300mm/sec;Z:100mm/sec | ||
| 加速度 | XY:500mm/sec;Z:200mm/sec | ||
| 標準物質(zhì) | 花崗巖 | ||
| X-Y物質(zhì) | 鋁合金 | ||
| 軸承X與Y | 直線運動軸承 | ||
| 電力 | 110/220VAC,10Amp,50-60Hz | ||
| 光學(xué) | 可編程6.5:1光學(xué)放大：0.7x-4.5x(22x-143x)with 1xObject Lens | ||
| 成像系統(tǒng) | 彩色CCD攝像機 | ||
| 照明 | 同軸 檣樓燈/背光源 | ||
| 表面LED環(huán)型燈 | LED環(huán)型燈：5Ringsx8Sectorsx40Segments | ||
| 激光器 探針（可選） | CCD激光器使用分析軟件 | ||
| 接觸式 探針（可選） | RENISHAW接觸式探針 使用Itouch軟件 | ||
| 運動控制 | DCC,操縱桿，鼠標 | ||
| 計算機 | Core 2 DUO/19"LCD顯示器/0GB RAM | ||
| 軟件 | New iView-PRO/Windows XP 運營體制 | ||
| 平板固定裝置 | 手動平板固定裝置和自動平板固定裝置 |
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