l 的臺階再現性與線性度。
l 真直度，可量測圖形不受任何影響，并可在真直度的下進行長距離測量。
l 采用噪音直動式LVDT，測定力的觸針可任意調節。
l 配備高分辨率的CCD即時進行高定位測量。
l 可對應各種國際規范，測定參數多達60多種。
l 適用于各種與納米材料有關的MEMS、光電子、精加工表面、生物器件、薄膜/化學涂層以及平板顯示等。
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