性能參數(shù)
型號QS-L1020/AF QS-L1020Z/AF QS-L1020Z QS-E1020
測量范圍 (X 軸／ Y 軸／ Z 軸) 200 x 100 x 150mm
分辨率0.1μm
長度標準桿反射型線性編碼器
測量 (20° C)* XY: (3+20L/1000)μm, Z: (5+6L/1000)μm
放大倍率物鏡2.5X, 1X, 5X 0.5X - 3.5X 變焦0.5X - 3.5X 變焦2.5X, 1X, 5X
器105X (到 2.5X) 21X - 147X 21X - 147X 105X (到 2.5X)
圖像探測裝置高分辨率 1/3" 彩色CCD 照相機
照明表面：同軸光，光纖環(huán)行照明 ；輪廓：光
工作臺玻璃尺寸269 x 261mm 269 x 311mm 269 x 261mm 269 x 311mm
工件高度150mm 150mm 150mm 150mm
工件重量10kg 10kg 10kg 10kg
尺寸 (W x D x H)、重量618 x 700 x 676mm, 56kg (618 x 752 x 682mm, 57kg: QS-E1020)
* 使用2.5x 物鏡或者焦距調整為2.5x( 監(jiān)控器倍率：105x)，L 為測量長度(mm)
東莞市瑞宇精密機械有限公司
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