紅外顯微熱像系統：定量評估各種封裝模式下的溫差及溫度均勻性。
用戶：北京大學，南車，38所，蘇州晶能，中航重慶微電子等等聯系人52
本產品能夠測量并顯示電子器件或電路板的表面溫度分布，為客戶提供了一種快速探測熱點和熱梯度的手段。
本產品可以地檢測微尺度半導體電路的熱問題和MEMS器件的熱問題，可以地檢測微尺度半導體電路的熱問題和MEMS器件的熱問題。
| 型號 | OTD-60S（開發平臺） | OTD-60C（集成平臺） |
| 測量參數 | ||
| 探測器類型 | 非制冷焦平面，像素：320*240，工作波段：8μm～14μm | |
| 熱靈敏度（NETD） | <0.05℃@30℃ | |
| 溫度范圍 | -20°～+100°C / 0°～+350°C (可自行切換) | |
| 測量 | +/- 2 % , +/- 2 °C | |
| 標準鏡頭（廣角鏡頭） | 視場：25°x18.8° ，焦距：0.4m，空間分辨率：1.36mrad | |
| 顯微鏡頭（定焦鏡頭） | 分辨率：25μm，視場：8mmx6mm\分辨率：50μm，視場：16mmx12mm\分辨率：100μm，視場：32mmx24mm | |
| 調焦方式 | 自動或手動（內置馬達） | |
| 測量分析 | ||
| 熱分析軟件 | MicroOptics ResearchIR | |
| 幀頻選擇 | 幀頻范圍：3Hz～60Hz，可采用多種幀頻錄制/實時顯示 | |
| 圖像模式 | 自動模式、小值模式、放大模式、自動放大模式 | |
| 測溫區域 | 測溫點、測溫矩形、測溫圓\橢圓、測溫線\折線，均可移動 | |
| 溫度顯示 | 溫、溫、平均溫度、等溫線、溫度時間曲線、線溫分布圖等 | |
| 紅外圖像 | 等溫色設定、多種偽彩顯示（彩虹，鐵紅等） | |
| 熱點探測 | 根據客戶需求定制開發熱點探測功能，如顯示位置、報警、跟蹤等 | |
| 失效分析 | 根據客戶需求定制開發失效分析認定程序，如通過比較缺陷元件與正常元件的熱表現，可自動認定缺陷元件所在位置或區域 | |
| 溫度校正 | 發射率校正、距離校正、大氣透過率修正、反射溫度補償等 | |
| 數據采集 | 錄像模式：定時觸發、手動觸發、條件觸發，快照圖片 | |
| 存儲格式 | 圖片格式：jpg、bmp、si等，視頻格式：avi、mi、csv等 | |
| 輔助功能 | 溫度報警、日志功能、記錄操作等 | |
| 輔助平臺 | ||
| 垂直聚焦臺（Z向） | 行程：400mm，分辨率：1um | 行程：100mm，分辨率：1um |
| 水平微動臺（XY向） | 尺寸：120mm×120mm、行程：50mm，分辨率：1um | 尺寸：300mm×300mm、行程：100mm，分辨率：1um |
| 探針臺（XYZ向） | 行程：12mm×12mm×12mm，分辨率：2um | |
