1： 精密、大型非接觸影像測量儀器
2：可應用多種傳感裝置：接觸式，CCD，Laser
3：適合半導體LCD件測量
| X | Y | Z | |
測量范圍(mm) | 300～ | 300～ | 50～ |
分辨率(µm) | 0.5/0.1 | ||
允許誤差 | 3.5+L/300～ | ||
速度(mm/s) | 400 | ||
空氣需求(kg/c㎡) | 4,25 | ||
成像系統 | 1/2" 高精掃描CCD測頭 | ||
| 照明系統 | LED環形燈(紅色或白色) | ||
| 可選項 | 接觸式測頭 |
電子驅動控制：
利用數字信號處理技術實現、持續、的動作控制
電力供給接口及配有鍵盤的操作手柄
標準配件：
空氣干燥器
油污過濾器/空氣過濾器
* 可以根據要求制作高及的模塊
* 為了性能，上述內容可以不提前預告而進行變更
