- 品牌/商標(biāo):新宇宙
- 新舊程度:全新
- 原產(chǎn)地:日本
型號 XP-703D
檢測對象氣體 半導(dǎo)體材料氣體(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等)
檢測原理 熱線型半導(dǎo)體式
采樣方式 自動吸引式
可檢測濃度
(單位:ppm) 砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氫氣
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
檢測表示 蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍
應(yīng)答速度 10秒以內(nèi)
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