上海蘇隆實(shí)業(yè)有限公司
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型號 XP-703D
檢測對象氣體 半導(dǎo)體材料氣體（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等）
檢測原理 熱線型半導(dǎo)體式
采樣方式 自動吸引式
可檢測濃度
（單位：ppm） 砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氫氣
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
檢測表示 蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍
應(yīng)答速度 10秒以內(nèi)
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