儀器用途：主要用于半導(dǎo)體硅晶片檢測(cè)、LCD液晶屏檢測(cè)、實(shí)驗(yàn)室材料分析及其他精密工程檢測(cè)領(lǐng)域，可對(duì)樣品進(jìn)行明場(chǎng)、暗場(chǎng)、偏光以及微分干涉觀察。光源可選鹵素?zé)簟⒐饫w照明，可以配電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)、成像系統(tǒng)，可以對(duì)應(yīng)多種需求的系統(tǒng)顯微鏡。 儀器型號(hào) YVM-200150CNC 量測(cè)行程 X.Y.Z 2000*1500*800mm（X.Y.Z） 光學(xué)測(cè)量系統(tǒng) CCD：2/3"(Gige LE)分辨率1280*1024*130萬(wàn)像素 顯微鏡鏡頭：奧林巴斯MX-61 物鏡：5X、10X、20X、50X、100X 顯示分辨率：0.0001mm 源興光學(xué)測(cè)量軟件 示值誤差 X、Y≤(4+L/200)um ,Z≤0.01mm 程控光源系統(tǒng) 下光源：條形光源，亮度可進(jìn)行調(diào)節(jié)表面光：鹵素?zé)艉屯S光，亮度可進(jìn)行調(diào)節(jié)。熒光照明。 裸機(jī)尺寸 2500*2500*2500mm 儀器凈重 5500KG 工作臺(tái)負(fù)載 80KG 儀器電源 220V(AC) 50HZ 125W 結(jié)構(gòu)形式 龍門(mén)橋式移動(dòng) 操作方式 搖桿/鼠標(biāo) 電源 220/110V