型號:FUNION564
行程:
X軸500mm
Y軸:600mm
Z軸:400mm
結構型式:活動橋式
傳動方式:直流伺服系統+預載荷高空氣軸承
長度測量系統:RENISHAW開放式光柵尺,分辨率為0.5μm
機臺:高(00級)花崗巖平臺
使用環境:
溫度:(20±2)℃,
濕度:55%-65%,
溫度梯度:1℃/m,
溫度變化:1℃/h
空氣壓力:0.4MPa-0.5Mpa
空氣流量:120L/min–140L/min
整機尺寸(LWH):1.2mX1.4mX2.3m
機臺承重:500kg,
整機重量:850Kg
空間測量:(2.80+L/300)μm。







