光源：SPERO XEPOS采用端窗鈀靶50W射線管。多可裝8個偏振靶和次級靶，可設定各種不同的激發條件，以對從Na到U的元素進行測定。
　　光閘系統：可以在更換樣品時無需關閉光管，從而了系統的穩定性。
　　
　　檢測器：檢測器采用目前的硅飄逸計數器。無論計數率如何變化，分辨率均保持一致。設計的準直器可顯著信噪比。光譜分辨率小于160eV（以Mn ka線計）。計數率為120，000cps.在高計數率下仍有較高的分辨率，可縮短分析時間、分析準確度。
　　
　　樣品室：SPERO XEPOS的分析性能不取決于它采用了大的分析部件及的偏振技術，而且還取決于其精準的進樣設計。德國斯派克分析儀器公司在開發SPERO XEPOS時就專門考慮到進樣的問題。高樣品交換器、新型樣品盤的采用可大大減少機械和物力波動對測定的影響，分析結果。儀器配備樣品旋轉裝置，可進一步測定不均勻樣品以及表面不平整樣品的分析結果。
　　
　　不間斷電源：可以消除電源波動的影響，長期的穩定性和的X光管性能。
　　
　　軟件：SPERO XEPOS軟件提供了一個簡單明了、使用簡便的操作界面。選定方法，輸入樣品識別信息，即可進行測定。通過的引導程序，操作者通過5個簡單步驟即可創建新的分析方法。采用基本參數法或采用專門的SPERO TurboQuant軟件，即可輕而易舉的完成未知樣品的分析。SPERO XEPOS可搭載預制的應用軟件包。該應用軟件包括一套在出廠前就安裝和校正好的硬件和分析方法。適用于分析RoHS，廢渣，，油，水泥，爐渣等，SPERO XEPOS一機多用，是真正的多功能分析儀器。
　　
　　技術參數：
　　
　　1.功率50W，電壓50KV，電流2mA
　　2.50W端窗Pd靶X光管
　　3.硅漂移計數器，分辨率小于170eV
　　4.3位置次級靶自動轉換系統，即3束X激發光源。
　　5.可選真空、充氣、常壓系統
　　
　　主要特點：
　　
　　1.偏振X光激發樣品，具有低的背景，的靈敏度
　　2.真正意義的Na-U的全分析，無需濾光片。
　　3.分析的含量范圍ppm級到100%
　　4.為豐富的軟件系統，提供各種方法及校正模式。
　　
　　SPERO XEPOS可廣泛地應用于石油、化工、冶金、礦業、制藥、食品、、地質、建材、廢物處理以及再加工工業等。以油中各種元素的分析為例。使用SPEO XEPOS，在氦氣保護狀態下，在300秒鐘之內，對于P、S、Cl、Ca、Cu、Zn、Ba的檢測下限在1-7µg/g以上。
　　
　　XEPOS型X射線熒光光譜儀可廣泛應用于各種電子材料及塑料中鉛、鎘、（汞）等元素分析，檢出下限低，靈敏度高、穩定性好，可應對歐洲WEEE、RoHS指令以及Sony STM-0083標準。