日立SFT-110型X射線熒光鍍層厚度測量儀
日立(SEA1000AII、EA1000AIII、EA1000VX、EA1200VX、EA1300VX、EA6000VX、SFT-110、FT-110、FT9355、FT9550、SFT9500X、SFT9550X)SFT-110系列產品,搭載了X射線管,實現了高的測定。SFT-110微小準直管和可變焦距光學系統的組合,實現了對微小部分的測定。對有段差的樣品也適用。
1.SFT-110搭載了50WX射線管。
2.SFT-110搭載標準的Φ50μm微小準直管(小Φ15μm)。
3.容易對微小領域進行觀察。SFT-110搭載了能4階段切換的可變焦距光學系統。
4.依據照明能很容易對以前觀察困難的樣品進行觀察。
5.SFT-110搭載了有凹凸的樣品碰撞的傳感器。
6.搭載了焦點切換功能,FT-110能夠對有高度的樣品的低部分進行測定。
7.SFT-110利用伺服馬達的驅動平臺。
7.SFT-110運用激光聚焦功能簡單實現位置的調整。








