紫外光臭氧清洗系統(tǒng)
　　THEMIS深度紫外臭氧清洗與反應(yīng)系統(tǒng)，是一部應(yīng)用深度紫外輻射（主要光波是184.9nm及253.7nm）表面原子級(jí)潔凈以及對(duì)物件產(chǎn)生光清洗、光化學(xué)反應(yīng)、光改質(zhì)等效應(yīng)的科學(xué)設(shè)備，由中科院與芬蘭資深合作設(shè)計(jì)，重要部件的制造以及調(diào)校由航天部工程師親自完成。
　　產(chǎn)品參數(shù)介紹：
　　型號(hào)  UVO-4  UVO-8
　　UV光波  253.7nm和184.9nm
　　清洗面積  12cm×12cm（4.5inch）  20cm×20cm（8inch）
　　光照強(qiáng)度  達(dá)50mW/cm2，實(shí)時(shí)顯示
　　時(shí)間設(shè)置  0-9999s任意設(shè)置，實(shí)時(shí)數(shù)字顯示
　　溫度  0.1℃，實(shí)時(shí)數(shù)字顯示，可平滑控制
　　物臺(tái)調(diào)高  范圍：0mm～35mm，：1mm
　　燈管材質(zhì)  固態(tài)金屬雙波汞燈
　　燈管功率  125W  250W
　　燈管形狀  格柵式燈管
　　燈管壽命  10000小時(shí)
　　整機(jī)尺寸  550mm寬×310mm高×670mm長(zhǎng)
　　警示保護(hù)功能  有
　　臭氧排風(fēng)系統(tǒng)  有
　　電源參數(shù)  220V/AC/50Hz
　　整機(jī)功率  150W  280W
　　整機(jī)重量  25KG
　　應(yīng)用領(lǐng)域  ITO玻璃、光學(xué)玻璃、鉻板、掩膜板、拋光石英晶體、硅晶片和帶有氧化膜的金屬等進(jìn)行精密清洗處理，液晶顯示器件、半導(dǎo)體硅晶片、集成電路、高印制電路板、光學(xué)器件、石英晶體、密封技術(shù)、帶氧化膜的金屬材料等物去除，性污垢、人體皮脂、化妝品油脂、樹(shù)脂添加劑及聚酰亞胺、石蠟、松香、潤(rùn)滑油、殘余的光刻膠等。還能對(duì)特定材料進(jìn)行表面改性，增加浸潤(rùn)性。