搬運機(jī)器人的特性
●度，高，高信賴性
●Z Axis：450mm
●￠Axis：-5°～335°
●RR Axis：1032mm
●RL Axis：1032mm
●負(fù)載：MAX.10／each（including Hand）
●反復(fù)：0.1mm
●應(yīng)用：Gl size：2-4Gen（730＊920）
wafer／DUT size：8wafer-1Gen（270＊360）
半導(dǎo)體，LCD等。
●度，高，高信賴性
●Z Axis：450mm
●￠Axis：-5°～335°
●RR Axis：1032mm
●RL Axis：1032mm
●負(fù)載：MAX.10／each（including Hand）
●反復(fù)：0.1mm
●應(yīng)用：Gl size：2-4Gen（730＊920）
wafer／DUT size：8wafer-1Gen（270＊360）
半導(dǎo)體，LCD等。
