儀器特點：
　　1.采用德國雙重閉環(huán)運動控制系統(tǒng)，電機在運動時具有的定位性能。
　　2.采用原裝日本COOMUSK伺服電機，了機器運行速度，還簡化了儀器與PC機的接口，PC機與儀器通過U線和S端子線連接。
　　3.采用花崗石平臺、新型立柱及工作臺，外觀簡潔大方。
　　4.表面光由40組光源組成，每一組均為恒流源驅動，200級連續(xù)可調。
　　5.配有我公司的CNC軟件，大大測量效率。
　　技術規(guī)格參數(shù)：
　　儀器型號  TVMU3020  TVMU4030  TVMU5030
　　
　　工作臺  工作臺尺寸  600*390  700*490  800*490
　　  玻璃臺尺寸  350*250  450*350  550*350
　　  運動行程X.Y  300*200  400*300  500*300
　　  Z軸升降行程  200（Focus）  200（Focus）  200（Focus）
　　  X、Y、Z軸數(shù)顯分辨率  0.5um  0.5um  0.5um
　　  X、Y坐標示值誤差  ≤（1.5＋L/200）L為被測長度，單位：mm）
　　  儀器重量  330  450  500
　　  外形尺寸  620*840*1020  720*1040*1020  800*1040*1020
　　電機  三軸運動速度  200mm/s
　　  三軸定位  0.001mm
　　
　　
　　影像系統(tǒng)
　　  攝像機  美國TEO彩色1/2″CCD攝像機
　　  變焦鏡頭  美國NITAR變焦鏡頭帶同軸光變焦鏡頭（二選一）
　　  變焦鏡頭倍率  0.7-4.5X
　　  視頻總倍率  20-128X
　　  物方視場  11.1-1.7mm
　　  電源  AC220V/AC110V
　　  消耗功率  100W
　　儀器配件  1X鏡筒（標配）  0.5X鏡筒（選配）  工作距離
　　變焦鏡頭  0.7-4.5X  0.7-4.5X  
　　添加鏡頭  視頻放大  物方視場  視頻放大  物方視場  
　　0.5X　可選  10X-64X  22-3.4  5X-32X  44-6.8  175
　　標準型  20X-128X  11.1-1.7X  10X-64X  22-3.4  92
　　2X可選  40X-256X  5.5-0.9  20X-128X  11.1-1.7  36