非接觸式三次元，型號：1200 X 1500 X 200MM
　　：XY軸定位3µm，全行程（5＋L/200）µm
　　Z軸定位5µm，全行程（5＋L/100）µm
　　
　　一、機構系統
　　1.懸臂式結構，00級花崗巖底座，機構不變形
　　2.工作平臺采用高、低折射率工業光學玻璃
　　測量行程：X：1200MM Y：1500MM Z：200MM
　　平臺承重：30KG
　　3.高、高穩定性日本THK直線導軌
　　導軌直線度：&plun;2µm
　　XY軸移動速度：400mm/s；Z軸移動速度：100mm/s
　　XY軸加速度：800mm/s2；Z軸加速度：300mm/s2
　　4.高穩定、高、低噪音日本黑田滾珠絲桿，機器運行平穩
　　5.高扭性日本三木聯軸器
　　6.玻璃固定治具，固定或壓平軟性工件（選配）
　　
　　二、電控系統
　　1.高穩定性日本Panasonic AC伺服馬達/日本安川AC伺服馬達（選配）
　　2.美國Galil四軸伺服控制卡
　　PCI總線
　　脈沖輸出頻率3MHz
　　四路編碼器輸入口，頻率12MHz
　　8入8出I/O點
　　小伺服更新率（Servo loop update rate）
　　1、2軸：125微秒
　　3、4軸：250微秒
　　3.高分辨率、高穩定性英國RENISHAW封閉式光柵尺
　　光柵尺分辨率：1.0µm（選配）
　　4.雷賽ENC7480計數卡
　　32位PCI總線
　　4軸28位計數器，輸入頻率5MHz
　　
　　三、影像系統
　　1.日本Sony 1/3"CCD，768 X 494 PIXEL
　　2.美國Navitar 6.5：1全自動變倍鏡頭模塊，Motor Zoom 6000
　　光學放大倍率：0.7-4.5X
　　影像放大倍率：22-145X/44-290X（加裝2X物鏡）
　　3.工業、高清晰SDK2000視頻采集卡
　　分辨率：800 X 600 PIXEL；32位真彩色；60幀/秒
　　
　　四、適用行業
　　
　　背光模塊TFT-LCD、TOUCH PANEL、電路板 PCB、精密沖壓件、精密模具、精密塑料件、汽車配件、刀模、精密五金、手機配件、光罩網版、半導體封裝等