MDC-360C膜厚控制儀（該產(chǎn)品已停產(chǎn)，SQC310是它的替代型號，我們長期提供MDC-360C的維修）
　　
　　MDC-360C膜厚控制儀利用閉環(huán)控制對單層或多層薄膜蒸鍍過程進(jìn)行準(zhǔn)確的控制。通過的數(shù)字信號程控提供蒸鍍膜層特性的預(yù)測和可重復(fù)性，可用于批量生產(chǎn)或?qū)嶒炇已邪l(fā)。該設(shè)備具有大的自我檢測系統(tǒng)在自動運行模式過程中，即使在感應(yīng)器晶片失效情況下仍可在無需人工操作情況下完成預(yù)設(shè)鍍膜程序，國產(chǎn)鍍膜機(jī)標(biāo)準(zhǔn)配置。
　　
　　大：可同時對單探頭、雙探頭或多探頭連接和控制。可以儲存多達(dá)99種工藝過程，999種定義膜層和32種定義的材料。
　　
　　使用靈活：有更多的材料及系統(tǒng)參量進(jìn)行控制，包括多段速率爬升、可編程離散輸入/輸出及2.5～10MHz的感應(yīng)晶片。
　　
　　充分的軟件支持：Maxtek的DCM軟件充分支持MDC-360膜厚控制儀。它可以簡化啟動過程、調(diào)試過程及微調(diào)等復(fù)雜過程。它還可以實現(xiàn)工藝過程、系統(tǒng)和運轉(zhuǎn)狀態(tài)數(shù)據(jù)的完整存檔。
　　
　　操作簡便：可操作的菜單控制界面。具有內(nèi)置預(yù)存儲材料庫、命名的工藝過程和膜材搭配。
　　
　　主要測量特性：
　　
　　頻率分辨率：在6.0　MHz時0.03　Hz
　　
　　質(zhì)量分辨率：0.375　ng／cm2
　　
　　感應(yīng)晶片頻率：2.5，3，5，6，9.5，10　MHz
　　
　　膜厚顯示：0.000～999.9　K＆Aring；
　　
　　成膜速率：00.0～999　Ang／sec（0～9.99μm／min）
　　
　　膜層數(shù)量：1～999
　　
　　圖形顯示：256×64　LCD，CCFL背景照明　

其他說明

測量特性
頻率分辨率	在6.0 MHz時0.03 Hz
質(zhì)量分辨率	0.375 Ng/cm 2
厚度分辨率	0.5% + 1 count
測量更新率	動態(tài)調(diào)整, .5 到10 Hz
顯示更新率	10 Hz
感應(yīng)晶片頻率	2.5, 3, 5, 6, 9.5, 10 MHz
顯示 (MDC-360C)
膜厚顯示	0.000~999.9 KAng
成膜速率	00.0~999 Ang/sec
功率顯示	00.0~99.9%
時間	0:00:00~9:59:59  H:MM:SS
晶片壽命 %	00%~99%
膜層數(shù)量	001~999
圖形顯示	256*64 LCD,CCFL背景照明
通訊
	標(biāo)準(zhǔn)RS-232串行端口 備選RS-485串行端口 備選IEEE-488端口
程序編制
程序設(shè)計和配置都可以通過LCD顯示屏表現(xiàn)出來.編程可分為三部分:過程,材料和系統(tǒng).編輯,觀察和運轉(zhuǎn)過程可以加密.默認(rèn)值無加密.
過程編制
MDC-360可存儲99種用戶定義的工藝過程.一個工藝過程是指一個連續(xù)的定義膜層的列表.膜層由兩個因素決定:材料和厚度.MDC-360可存儲多達(dá)999種膜層.
過程的參量
過程名稱	12字
編輯	4字
運行 / 觀察	4字
膜層 # 1 到 999	材料名稱,厚度
材料編制
MDC-360可存儲32種用戶定義的材料.材料由以下所列參量決定.
材料的參量
材料名稱	10字
材料	4字
探頭 #	1 到4
晶片 #	1 到8
源 #	1 到4
坩堝 #	1 到8
密度	0.80 到99.99 gm/cm 3
聲阻	4.00 到59.99 gm/cm 2 sec
修正系數(shù)	10.0 到499.9%
比例增益	1 到9999
積分時間	0 到99.9 秒
微分時間	0 到99.0秒
上升保持時間	0 到9:59:59
保持功率	0 到99.9%
保持時間	0 到9:59:59
上升至預(yù)鍍時間	0 到9:59:59
預(yù)鍍功率	0.0 到99.9%
預(yù)鍍時間	0 到9:59:59
速率確定時間	0 到99秒
速率確定誤差	0 到99.9%
蒸鍍速率	000.0 到999.9Å/sec
速率攀升 / 下降開始	0.000 到999.9 K Å
速率攀升 / 下降停止	0.000 到999.9 K Å
時間設(shè)定	0 到9:59:59
攀升 / 下降伺服時間	0 到9:59:59
伺服功率	0 到99.9%
伺服時間	0 到9:59:59
下降至停頓時間	0 到9:59:59
停頓功率	0 到99.9%
功率	0 到99.9%
功率報警延遲	0 到99 sec
小功率	0 到99.9%
速率偏離關(guān)注	0 到99.9%
速率偏離報警	0 到99.9%
速率偏離中止	0 到99.9%
采樣駐留	0 到100%
采樣時段	0 到9:59:59
晶片失效	轉(zhuǎn)換,停止或計時停止
備用探頭 #	1 到4
備用修正系數(shù)	10 到499.9%
備用晶片 #	1 到8
輸入 / 輸出范圍
標(biāo)準(zhǔn)
晶片輸入	2 路標(biāo)準(zhǔn),2路可選擇的BNC輸入
源輸出	全緣2路標(biāo)準(zhǔn)輸出,2路可選擇輸出.2.5,5,10V,20mA,分辨率0.002%
* 無源輸入	8路可編程, 地電位真4.7 kΩ到5 VDC
* 有源輸入	8路可編程, 50 - 60 Hz 時10.5 - 130 VAC 或10.5 VDC
* 輸入類型選擇
繼電器離散輸出	8路可編程SPST繼電器, 120 VA, 電流2A
中止繼電器輸出	SPST繼電器, 120 VA, 電流2A
通訊接口, RS-232	后面板, 9針AT, 全雙工通信制 前面板, RJ-11-6 POS插孔, 全雙工通信制
遙控器	前面板, RS-11-4 POS插孔
廠方安裝備選項
RS-485通訊接口.后面板上的RS-232可由RS-485代替.
用戶安裝備選項
源/探頭接口面板可接到4個源和探頭.源/探頭接口面板可使輸入/輸出至16路.   IEEE-488通訊面板
輸入設(shè)置
每一路輸入均可由初始的特定條件設(shè)定初始狀態(tài)和數(shù)值.由源和探頭位置決定的信息反饋也已預(yù)先確定.
輸出設(shè)定
每一路輸出均可設(shè)定根據(jù)特定的條件輸出的方式.由源和探頭的轉(zhuǎn)換決定的信息反饋也已預(yù)先確定.
傳感器設(shè)定
每一個傳感器可設(shè)定為控制一個單探頭,雙探頭或多探頭.由以下參數(shù)決定.
傳感器參數(shù)
晶片個數(shù)	1 到8
擋板繼電器類型	雙刀,常開,常閉,或沒有
控制方式	手動,指令, BCD,或單獨控制
反饋形式	單獨, BCD,定點或無反饋
轉(zhuǎn)子延遲	0-99秒
蒸發(fā)源設(shè)定
每個蒸發(fā)源可可以通過手動或自動轉(zhuǎn)換的方式設(shè)定為控制一個單坩堝或多坩堝源.
蒸發(fā)源參量
坩堝數(shù)量	1 到8
擋板繼電器類型	常開,常閉或沒有
擋板延遲	0 - 9.9 秒
控制方式	手動,指令, BCD,或單獨控制
反饋形式	單獨, BCD,定點或無反饋
轉(zhuǎn)子延遲	0-99秒
源電壓	2.5, 5, 10 V
數(shù)模轉(zhuǎn)換記錄設(shè)定
MDC-360有兩路模擬,圖表記錄器輸出.記錄器輸出由以下參量決定.
記錄器參量
#1 / #2 記錄器輸出	速率,速率偏離,功率或膜厚
#1 / #2記錄器量程	全量程
記錄器規(guī)格
輸出	0 到5V
分辨率	0.02%
應(yīng)用設(shè)置
應(yīng)用設(shè)置菜單包含一些其他地方?jīng)]有的一些參數(shù)設(shè)定,這些參數(shù)為:
晶片頻率	2.5, 3, 5, 6, 9, 10 MHz
模擬模式	開/關(guān)
IEEE-488/RS-485 地址	1 到32
提示音量	0 到10
警示音量	0 到10
報警音量	0 到10
時間	0 到23:59 - 備選
日期	月/日/年- 備選