微氧分析儀為檢驗高純度制程氣體中的微量含氧，以制程氣體的純度，避免管路泄漏破損滲入大氣中的氧氣破壞制程品質，增進制程良率，并依各制程對制程氣體管路含氧量之要求，進行要之測試設備。
使用氣體感測技術燃料電池式微量氧
感測元件，具準確度高及反應速度快，不需
保養等特性。
. 適用于氮氣、氫氣、氬氣等還原性氣體中微量氧
的偵測。
. 采用4.3”TFT大螢幕顯示，可同時顯示含氧量、
日期、時間等參數。
. 于全量程范圍內可任意設置警報點上、下限。
. 自動記錄間的氧濃度變化曲線。
. 輸出4~20mA標準信號；標準RS485/RS232(選用)
通訊口，可連結RJ45網路、Bluetooth、MicroSD
及U與電腦雙向通訊。
使用氣體感測技術燃料電池式微量氧
感測元件，具準確度高及反應速度快，不需
保養等特性。
. 適用于氮氣、氫氣、氬氣等還原性氣體中微量氧
的偵測。
. 采用4.3”TFT大螢幕顯示，可同時顯示含氧量、
日期、時間等參數。
. 于全量程范圍內可任意設置警報點上、下限。
. 自動記錄間的氧濃度變化曲線。
. 輸出4~20mA標準信號；標準RS485/RS232(選用)
通訊口，可連結RJ45網路、Bluetooth、MicroSD
及U與電腦雙向通訊。
