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儀器特點
◆ 精密全自動測量，四軸CNC控制；
◆ 精密花崗巖機臺，高、穩定性好；
◆ 三軸THK精密線性滑軌、精密傳動系統；
◆ Renishaw開放式光柵尺，高、穩定性好；
◆ TZTEK自動變倍光學鏡頭，可實現自動變倍測量；
◆ 可程控6環8區環形表面光源，LED輪廓光源，同軸光源；
◆ 自動對焦測高，可加裝接觸式測頭；
◆ 提供多種行程規格配置，如222、322、432、542等。
技術參數
| 型號 | VMU222 | VMU322 | VMU432 | VMU542 |
| 行程(mm) | 200×200×200 | 300×200×200 | 400×300×200 | 500×400×200 |
| 外部尺寸(mm) | 1040×740×1620 | 1040×740×1620 | 1240×800×1620 | 1440×1000×1620 |
| 重量(kg) | 240 | 250 | 310 | 400 |
| 承重(kg) | 25 | 25 | 25 | 25 |
| 測量 | XY軸* | E2=(1.6+L/300)µm | E2=(2.0+L/300)µm | |
| Z軸** | E1=(5.0+L/200)µm | |||
| 速度 | XY軸 | 200mm/S | ||
| Z軸 | 100mm/S | |||
| 光柵尺 | Renishaw光柵尺 | |||
| CCD | 1/2"CCD 黑白/彩色 | |||
| 光源 | 輪廓光 | LED冷光源，256級亮度可調 | ||
| 表面光 | 6環8區LED冷光源，各段操控，256級亮度可調 | |||
| 同軸光 | LED冷光源，256級亮度可調 | |||
| 光學系統*** | 6.5:1可變倍，放大倍率29～163或58～326 | |||
| 軟件 | Vispec測量軟件（VMU版） | |||
| 運動控制 | 自主的CNC直流伺服系統 | |||
| 保修期 | 1年 | |||
| 工作環境 | 溫度20℃&plun;2℃，溫度變化<2℃/hr，濕度30～80% | |||
| 振動<0.002g，低于15Hz | ||||
| 電源 | 220V/50Hz/10A |
* L表示測量長度，以毫米為單位。
** Z軸的機械，聚焦的與工件表面有很大關系。
*** 放大倍率為近似值，具體值與顯示器的尺寸以及顯示器的分辨率相關。
應用行業
機械、電子、模具、注塑、五金、橡膠、低壓電器，磁性材料、精密五金、精密沖壓、接插件、連接器、端子、手機、家電、計算機（電腦）、液晶電視(LCD)、印刷電路板（線路板、PCB）、汽車、器械、鐘表、儀器儀表等。
測量對象
LCD、FPC、PCB、線路板、螺絲、彈簧、鐘表、手表、儀表、接插件（連接器、接線端子）、齒輪、凸輪、螺紋、半徑樣板、螺紋樣板、電線電纜、刀具、軸承、五金件、沖壓件、篩網、試驗篩、水泥篩、網板（鋼網、T模板）等。
測量元素
長度、寬度、高度、孔距、間距、Pin間距、厚度、圓弧、直徑、半徑、槽、角度、R角等。
