主要特點
·采用壓電陶瓷驅動；
·納米級位移分辨率；
·重復定位高；
·優良的頻率響應特性；
·采用計算機有限元分析等現代設計方法設計微動結構；
·可內置 LVDT 或電阻應變片式微位移傳感器，方便實現循環控制；
·機體材料可選擇鋁合金、Invar 合金等，適用于不同的應用場合；
·采用電火花、線切割等加工工藝，以嚴格加工；
·從一維到六維六十余種型號，已形成系列產品；
·采用的表面處理工藝，了適應不同工作環境的能力。
·采用壓電陶瓷驅動；
·納米級位移分辨率；
·重復定位高；
·優良的頻率響應特性；
·采用計算機有限元分析等現代設計方法設計微動結構；
·可內置 LVDT 或電阻應變片式微位移傳感器，方便實現循環控制；
·機體材料可選擇鋁合金、Invar 合金等，適用于不同的應用場合；
·采用電火花、線切割等加工工藝，以嚴格加工；
·從一維到六維六十余種型號，已形成系列產品；
·采用的表面處理工藝，了適應不同工作環境的能力。
