MKS 345皮拉尼系列是一個(gè)穩(wěn)健的，的，快速和穩(wěn)定的壓力測(cè)量真空計(jì)，345系列熱傳導(dǎo)型的皮拉尼通過測(cè)量在加熱燈絲上的熱損失來測(cè)量壓力，的溫度補(bǔ)償電路提供了更好的測(cè)量的穩(wěn)定性。
真空計(jì)是工廠校驗(yàn)的，所以當(dāng)替換真空計(jì)時(shí)無需進(jìn)行重新校驗(yàn)，白金的燈絲了和一系列制程氣體的兼容性，只有真空的材料才暴露于真空中，比熱偶規(guī)更的皮拉尼規(guī)，可以測(cè)量更廣的壓力范圍和應(yīng)對(duì)于壓力變化更快的響應(yīng)速度。
像熱傳導(dǎo)的真空計(jì)，345皮拉尼是對(duì)氣體敏感的，這個(gè)特點(diǎn)可以在固定氣體類型的情況下容易的在真空腔體中找到泄露，它補(bǔ)充了質(zhì)譜測(cè)漏儀的功能，可以更地尋找更小的泄漏。 345 皮拉尼是一個(gè)9 針的D型連接方式，屏蔽型的，合CE標(biāo)志。
應(yīng) 用：
MKS 945單通道控制器和345皮拉尼是理想的用于的低真空和中真空的測(cè)量，包括機(jī)械泵的本底測(cè)量或系統(tǒng)工藝的啟動(dòng)。
MKS 945 單通道控制器和345 皮拉尼可用于許多工業(yè)領(lǐng)域如半導(dǎo)體，Loadlock,測(cè)漏，真空鍍膜和凍干設(shè)備等，真空兼容的材料應(yīng)用于傳感器中和可烘烤的能力使其可應(yīng)用于物理應(yīng)用如加速器和激光核聚變項(xiàng)目中。
