TH510系列半導體CV特性分析儀技術解析與應用
一、設備概述
TH510系列是專用于半導體器件?電容-電壓（C-V）特性測試?的高精度分析儀，具備多參數測量、高速掃描及多通道擴展能力，適用于功率器件、集成電路等半導體元件的研發與質量控制。
二、核心性能特點
?高效測試能力?
?雙CPU架構?：LCR測試速度達0.56ms/次（1800次/秒），支持快速導通測試（Cont）。
?多參數同測?：可同步測量并顯示寄生參數（Ciss、Coss、Crss、Rg）。
?靈活配置?
?通道擴展?：標配2通道，可擴展至6通道，支持雙芯片并行測試。
?測試模式?：點測、列表掃描（最多1001點）、圖形掃描（選件）。
?高精度與寬范圍?
?電壓范圍?：VGS（±40V）、VDS（200V/1500V/3000V可選）。
?頻率覆蓋?：1kHz-2MHz，分辨率達0.01%。
三、典型應用場景
?器件測試?：MOSFET、IGBT、二極管等寄生電容及C-V特性分析。
?材料研究?：晶圓、液晶材料的介電常數與彈性常數測量。
?工藝優化?：通過C-V曲線評估半導體摻雜濃度與界面態密度。
四、技術參數摘要
| ?項目? | ?規格? |
|---|---|
| 顯示系統 | 10.1英寸觸摸屏（1280×800），Linux操作系統 |
| 測量精度 | 0.1%（參考說明書），電容分辨率0.00001pF |
| 接口配置 | RS232/USB/LAN/HANDLER，支持分檔信號輸出 |
| 物理參數 | 尺寸430×177×405mm，重量16kg，功耗≥130VA |
五、操作與擴展功能
?校準與分選?：支持開路/短路/負載校準，10檔分選（Bin）及PASS/FAIL指示。
?數據管理?：內部存儲100M，外接USB保存設定文件、圖形及記錄。
該設備以一體化設計（LCR+高壓源+通道切換）為核心，兼顧效率與精度，是半導體研發與生產的理想工具。
