EMS300R T大樣品離子濺射鍍膜儀Large Chamber Sputter Coaters
適合SEM（掃描電鏡）、FE-SEM（場發射掃描電鏡）、TEM（電鏡）。
EMS300R T 與EMS150R T相似，明顯區別是EMS300R T腔室大，203mm，采用旋轉真空泵抽真空；此外，它配備三個的濺射頭，靶材粒子在大樣本上的沉積效果。適合濺射不易氧化的貴金屬如金、金/鈀、鉑等。（注意：既能濺射不易氧化金屬，又能濺射易氧化金屬，另見EMS300T T）。
特征參數
1、可以進行樣本（直徑至203mm）的金屬鍍膜
2、三個濺射頭濺射沉積質量
3、單靶材選擇功能，可以進行小樣本鍍膜
4、多種金屬靶材比如金、金/鈀、鉑等可選
5、選擇裝配膜厚監測儀可以控制膜厚
6、全自動觸摸屏控制，快速數字輸入，操作簡便
7、可以儲存不同用戶的程序
8、能夠記錄100個新鍍膜細節
9、真空自動控制，且具有真空保持功能
10、落入式樣品臺拆裝方便（標配是旋轉樣品臺）
11、長60分鐘不間斷鍍膜能力
12、合人體工程學的整體注塑機身
13、電氣合CE要求
14、三年質保
樣品臺
EMS300R T有多種型號的樣品臺可以選擇，用于滿足目前大部分需求。落入式設計使得不同型號的樣品臺之間更換簡便，樣品臺除了行星臺外其高度均可調，旋轉速度在預設范圍內實現可調。
適合SEM（掃描電鏡）、FE-SEM（場發射掃描電鏡）、TEM（電鏡）。
EMS300R T 與EMS150R T相似，明顯區別是EMS300R T腔室大，203mm，采用旋轉真空泵抽真空；此外，它配備三個的濺射頭，靶材粒子在大樣本上的沉積效果。適合濺射不易氧化的貴金屬如金、金/鈀、鉑等。（注意：既能濺射不易氧化金屬，又能濺射易氧化金屬，另見EMS300T T）。
特征參數
1、可以進行樣本（直徑至203mm）的金屬鍍膜
2、三個濺射頭濺射沉積質量
3、單靶材選擇功能，可以進行小樣本鍍膜
4、多種金屬靶材比如金、金/鈀、鉑等可選
5、選擇裝配膜厚監測儀可以控制膜厚
6、全自動觸摸屏控制，快速數字輸入，操作簡便
7、可以儲存不同用戶的程序
8、能夠記錄100個新鍍膜細節
9、真空自動控制，且具有真空保持功能
10、落入式樣品臺拆裝方便（標配是旋轉樣品臺）
11、長60分鐘不間斷鍍膜能力
12、合人體工程學的整體注塑機身
13、電氣合CE要求
14、三年質保
樣品臺
EMS300R T有多種型號的樣品臺可以選擇，用于滿足目前大部分需求。落入式設計使得不同型號的樣品臺之間更換簡便，樣品臺除了行星臺外其高度均可調，旋轉速度在預設范圍內實現可調。
